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模具方面

引腳成形模具：在半導(dǎo)體封裝中，引腳成形模具的刀口件會承受較大的摩擦和磨損，DLC 涂層具有高硬度、低摩擦系數(shù)的特點(diǎn)，可降低刀口件與引腳材料之間的摩擦，減少磨損，提高模具的使用壽命，保證引腳成形的精度和質(zhì)量。

封裝模具：半導(dǎo)體封裝模具的成形鑲件和鑲塊在封裝過程中與封裝材料頻繁接觸，DLC 涂層可以有效防止封裝材料粘附在模具表面，使脫模更容易，提高生產(chǎn)效率，同時避免因材料殘留而影響產(chǎn)品質(zhì)量，延長模具的維護(hù)周期和使用壽命。

零部件方面

晶圓承載臺：晶圓承載臺在半導(dǎo)體制造過程中需要精確地定位和傳輸晶圓，DLC 涂層可降低承載臺表面的摩擦系數(shù)，使晶圓的傳輸更加順暢，減少晶圓與承載臺之間的磨損和劃傷，提高晶圓的加工質(zhì)量和成品率。

夾具和卡具：用于固定和夾持半導(dǎo)體工件的夾具和卡具，在使用過程中需要保持良好的穩(wěn)定性和耐磨性。DLC 涂層可以提高夾具和卡具的表面硬度和耐磨性，防止在夾持過程中對工件造成損傷，同時確保夾具和卡具在長期使用后仍能保持精確的尺寸和形狀。

設(shè)備部件方面

真空腔室部件：半導(dǎo)體制造設(shè)備中的真空腔室部件，如真空閥門、擋板等，需要在高真空環(huán)境下具有良好的耐磨性、耐腐蝕性和低摩擦性能。DLC 涂層可以滿足這些要求，減少部件之間的摩擦和磨損，防止腐蝕，保證設(shè)備在高真空環(huán)境下的正常運(yùn)行。

傳輸機(jī)構(gòu)部件：半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的傳輸機(jī)構(gòu)，如傳送帶、滾輪等，在傳輸半導(dǎo)體材料和器件時會產(chǎn)生摩擦和磨損。DLC 涂層能夠降低這些部件的摩擦系數(shù)，提高耐磨性，減少能量損耗，延長傳輸機(jī)構(gòu)的使用壽命，確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的高效傳輸。