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關(guān)于DLC涂層的詳細(xì)介紹
來源:技術(shù)支持 | 發(fā)布日期:2025-02-27

以下是關(guān)于DLC涂層的詳細(xì)介紹:

基本信息  

定義:DLC 涂層,即類金剛石碳膜,是一種非晶態(tài)碳膜,其結(jié)構(gòu)中含有金剛石結(jié)構(gòu)(sp³ 鍵)和石墨結(jié)構(gòu)(sp² 鍵)的亞穩(wěn)非晶態(tài)物質(zhì),主要由碳和氫組成。外觀:通常呈現(xiàn)出黑灰色。 

制備方法:物理氣相沉積(PVD

濺射法:通過高能粒子轟擊碳靶材,使碳原子被濺射出來并沉積在基底表面形成 DLC 涂層。

離子束沉積(IBAD):使用離子束轟擊碳源目標(biāo),釋放碳離子并使其沉積在基底表面。

化學(xué)氣相沉積(CVD

熱解 CVD:在高溫下,將含碳的氣體如甲烷、乙炔等分解為碳原子,然后沉積在基底表面。 光催化 CVD:利用光催化作用,使含碳?xì)怏w在基底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成 DLC 涂層。

射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD):在沉積過程中引入射頻等離子體,增強反應(yīng)活性,實現(xiàn)低溫下 DLC 薄膜的生長。

DLC 涂層特性

高硬度:維氏硬度可高達(dá) 2200-4000HV,接近天然金剛石的硬度,能顯著增強材料表面的耐磨性。

低摩擦系數(shù):表面光滑無缺陷,摩擦系數(shù)通常小于 0.2,甚至在一些情況下可低至 0.05-0.1,能有效減少摩擦損失。

【責(zé)任編輯】小編

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