DLC(類金剛石)涂層的最薄厚度和耐溫性能因其成分、制備工藝和應(yīng)用需求的不同而有所差異。以下是綜合搜索結(jié)果的分析:
1. DLC涂層的最薄厚度
常規(guī)DLC涂層:通常在 0.5~3微米(μm) 之間。
超薄DLC涂層:某些特殊應(yīng)用(如裝飾鍍或精密電子器件)可低至 0.5微米 甚至更薄。例如,裝飾鍍DLC在接近 0.5微米時(shí)可能出現(xiàn)炫彩效應(yīng)。
Ta-C(四面體非晶碳)涂層:厚度可低至0.5微米,適用于高精度加工。
2. DLC涂層的耐溫性能
標(biāo)準(zhǔn)DLC涂層:一般工作溫度范圍為 100°C 至 350°C。超過(guò) 400°C 時(shí),sp³鍵可能向sp²鍵轉(zhuǎn)變,導(dǎo)致性能退化。
硅摻雜DLC(Si-DLC):耐溫性顯著提高,可在740°C下保持穩(wěn)定。
金屬摻雜DLC(如Ti、W、Cr):耐溫性有所提升,但具體數(shù)值因摻雜元素和比例而異。
Ta-C涂層:抗氧化溫度可達(dá) 550°C。
3. 影響DLC涂層性能的關(guān)鍵因素
sp³/sp²鍵比例:sp³鍵占比越高,硬度越高,但脆性可能增加。
氫含量:含氫DLC(a-C:H)通常摩擦系數(shù)更低,但耐溫性較差。
沉積工藝:PVD(物理氣相沉積)和CVD(化學(xué)氣相沉積)會(huì)影響涂層的結(jié)構(gòu)和性能。
結(jié)論
最薄DLC涂層:可低至 0.5微米(如裝飾鍍或Ta-C涂層)。
最高耐溫DLC涂層:硅摻雜DLC可達(dá) 740°C,而標(biāo)準(zhǔn)DLC通常限于350°C。
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