一、基本概念
TAC類金剛石涂層是一種非晶態(tài)碳涂層,具有類似金剛石的四面體鍵合結(jié)構(gòu)(sp³ 鍵),因此兼具高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨損、耐腐蝕及良好的熱導(dǎo)性等特性。其性能介于類金剛石涂層(DLC)和傳統(tǒng)硬質(zhì)涂層之間,屬于類金剛石涂層(DLC)的一種特殊類型,常用于對表面性能要求極高的精密零部件、工具及電子器件等領(lǐng)域。
二、主要特點(diǎn)
特性 |
具體表現(xiàn) |
高硬度 |
硬度可達(dá) 2000-4000 HV(接近天然金剛石的硬度),顯著提升基材抗磨損能力。 |
低摩擦系數(shù) |
摩擦系數(shù)通常為 0.05-0.2,可減少摩擦損耗,降低能耗,延長部件使用壽命。 |
耐腐蝕性 |
對酸、堿、鹽等化學(xué)介質(zhì)具有良好抗性,適用于潮濕、腐蝕性環(huán)境。 |
熱穩(wěn)定性 |
相比普通 DLC 涂層,TAC 涂層耐高溫性能更優(yōu)(可耐受 200-400℃高溫),不易因溫度升高而失效。 |
高表面光潔度 |
涂層厚度均勻(通常 0.5-5μm),表面粗糙度低(Ra≤0.2μm),可保持零件精密配合精度。 |
良好附著力 |
與金屬(如鋼、鈦合金)、陶瓷、半導(dǎo)體等基材結(jié)合力強(qiáng),不易剝落。 |
三、制備工藝
TAC 涂層主要通過物理氣相沉積技術(shù)制備,常見工藝包括:
離子束沉積
利用高能離子束將碳源(如石墨靶材)分解為離子,直接沉積在基材表面,形成高 sp³ 鍵含量的 TAC 涂層。
優(yōu)點(diǎn):涂層致密度高、結(jié)構(gòu)均勻,性能接近天然金剛石。
缺點(diǎn):沉積速率低,成本較高,適合小尺寸精密零件。
脈沖激光沉積
通過激光轟擊石墨靶材,產(chǎn)生等離子體并沉積到基材表面,形成 TAC 涂層。
優(yōu)點(diǎn):可精確控制涂層成分和厚度,適合復(fù)雜曲面沉積。
缺點(diǎn):設(shè)備復(fù)雜,大規(guī)模生產(chǎn)難度大。
磁控濺射沉積
利用磁控濺射技術(shù)將碳靶材濺射至基材表面,通過調(diào)節(jié)工藝參數(shù)(如功率、氣壓)控制 sp³ 鍵比例。
優(yōu)點(diǎn):沉積效率高,適合批量生產(chǎn)。
缺點(diǎn):涂層 sp³ 鍵含量相對較低,硬度略低于 IBD 法制備的 TAC 涂層。
四、應(yīng)用領(lǐng)域
TAC 涂層憑借其獨(dú)特性能,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
機(jī)械加工工具
應(yīng)用場景:銑刀、鉆頭、齒輪刀具等。
作用:減少刀具磨損,提高加工效率,延長刀具壽命(可提升 3-5 倍),尤其適合高硬度材料(如淬火鋼、鈦合金)加工。
汽車與航空航天
應(yīng)用場景:發(fā)動機(jī)活塞環(huán)、氣門挺桿、渦輪葉片、軸承等。
作用:降低摩擦損耗,提升部件耐腐蝕性和可靠性,適用于高溫、高負(fù)荷工況。
電子與半導(dǎo)體
應(yīng)用場景:硬盤磁頭、MEMS 器件、半導(dǎo)體封裝模具等。
作用:保護(hù)精密電子元件表面,減少接觸電阻,提升器件穩(wěn)定性和使用壽命。
醫(yī)療器械
應(yīng)用場景:手術(shù)刀具、人工關(guān)節(jié)、牙科種植體等。
作用:增強(qiáng)表面生物相容性,減少細(xì)菌附著,同時提高耐磨性和抗腐蝕能力。
光學(xué)器件
應(yīng)用場景:紅外窗口、光學(xué)透鏡、傳感器表面等。
作用:提供高透光率、低反射率的耐磨涂層,保護(hù)光學(xué)元件表面免受刮擦和污染。
六、注意事項(xiàng)
基材預(yù)處理
涂層附著力依賴于基材表面清潔度和粗糙度,需通過噴砂、超聲清洗等工藝去除油污和氧化層。
涂層厚度選擇
需根據(jù)零件服役條件調(diào)整厚度:磨損嚴(yán)重場景(如刀具)可選 2-5μm;精密配合件(如軸承)宜選 0.5-1μm,避免影響公差配合。
后處理工藝
部分應(yīng)用場景需對涂層進(jìn)行拋光或鈍化處理,以進(jìn)一步降低表面粗糙度或提升耐腐蝕性。
成本考量
TAC 涂層制備設(shè)備投資大,工藝復(fù)雜,成本高于普通DLC涂層,適用于對性能要求極高的高端領(lǐng)域。
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