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DLC類金剛石碳是一種非晶態(tài)薄膜材料，兼具金剛石的高硬度、耐磨性和光學透明性，同時具備碳材料的柔韌性和工藝可調(diào)性。在光學領(lǐng)域，DLC鍍膜通過精準控制成分和結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)特定波段的光學性能優(yōu)化，廣泛應用于精密光學元件、傳感器、激光器件等場景。

核心特性與優(yōu)勢

物理性能優(yōu)異

高硬度與耐磨性：硬度可達10~80 GPa（接近金剛石），能有效抵抗劃傷、摩擦和環(huán)境侵蝕，延長光學元件壽命。例如，用于手機攝像頭玻璃的耐磨涂層，可減少日常使用中的劃痕損傷。

化學穩(wěn)定性：耐酸、堿、鹽腐蝕，抗潮濕和高溫（短期耐溫可達300℃），適用于惡劣環(huán)境（如航空航天、工業(yè)檢測）中的光學器件。

低摩擦系數(shù)：摩擦系數(shù)僅 0.01~0.2，可減少光學元件間的接觸磨損（如鏡頭組的機械配合部位）。

工藝兼容性強

低溫沉積：可在室溫至 200℃下沉積，適用于塑料、聚合物等熱敏基材（如 AR 眼鏡的樹脂鏡片）。

大面積均勻性：通過磁控濺射等技術(shù)可實現(xiàn)晶圓級或大面積鍍膜，適合規(guī)?；a(chǎn)。

典型應用場景

納米復合結(jié)構(gòu)：開發(fā) DLC金屬納米顆粒復合膜，實現(xiàn)等離激元增強的光學響應。

多功能集成：結(jié)合防霧、自清潔（如超親水表面）、電磁屏蔽等功能，拓展在復雜場景中的應用。

綠色工藝：探索無氫DLC或水基前驅(qū)體技術(shù)，減少傳統(tǒng)工藝中氫氟酸等有害試劑的使用。

DLC 類金剛石光學鍍膜憑借光學性能與機械性能的平衡，成為高端光學領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)。未來，隨著工藝優(yōu)化和多功能集成技術(shù)的突破，其在先進光學系統(tǒng)、柔性電子、生物醫(yī)學等前沿領(lǐng)域的應用將持續(xù)擴展，推動光學器件向高可靠性、小型化、智能化方向發(fā)展。